Описание: Магнетронное напыление

Сохранить в:

Библиографические подробности
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Ижевск Удмуртский государственный университет 1994
Предметная рубрика:	Распыление Магнетроны Вакуум Тонкопленочные слои Микроэлектроника Термовакуумные методы Микросхемы Ионное распыление Диодное распыление
Ключевые слова:	Тонкие пленки Напыление магнетронное

Недоступно описание.