|
|
|
|
| LEADER |
01548nam0a2200373 i 4500 |
| 001 |
D2D1DFDE-C7AA-42D6-AFF4-7ACB5469E647 |
| 010 |
|
|
|d р.1500.00
|
| 100 |
|
|
|a 19970619d1994 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Магнетронное напыление
|f Удм. гос. ун-т, Каф. физики твердого тела
|g сост.: Ветошкин В. М. [и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Ижевск
|c Удмуртский государственный университет
|d 1994
|
| 215 |
|
|
|a 17с.
|c ил.
|
| 606 |
|
|
|a Тонкие пленки
|
| 606 |
|
|
|a Напыление магнетронное
|
| 610 |
1 |
|
|a Распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a Магнетроны
|
| 610 |
1 |
|
|a Вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a Тонкопленочные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a Термовакуумные методы
|
| 610 |
1 |
|
|a Микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a Ионное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a Диодное распыление
|
| 686 |
|
|
|a 22.371.26
|a 34.663.1
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 55
|a 29
|2 rugasnti
|
| 702 |
|
0 |
|a Ветошкин
|b В. М.
|4 220
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Удмуртский государственный университет
|b Кафедра физики твердого тела
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Удмуртский государственный университет
|b Кафедра физики твердого тела
|
| 801 |
|
0 |
|b НБУР
|a RU
|c 19970619
|
