Описание: Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Румак Н. В.
Другие авторы:	Хатько В. В.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Минск Навука i тэхнiка 1990
Рубрика:	Получение Производство
Ключевые слова:	Диэлектрические пленки Получение МДП-структуры Микроэлектронные схемы интегральные Производство

5-343-00540-3