|
|
|
|
| LEADER |
01255nam0a2200289 i 4500 |
| 001 |
D2F7232B-2034-4399-82E9-EF0A3DBDC2A9 |
| 010 |
|
|
|a 5-343-00540-3
|d р.1.40
|
| 100 |
|
|
|a 20081114d1990 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
|f Н. В. Румак, В. В. Хатько
|g под ред. В. Е. Борисенко; АН БССР, Физ.-техн. ин-т
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Навука i тэхнiка
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a 190, [1]с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 181-189 (225 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Диэлектрические пленки
|x Получение
|
| 606 |
|
|
|a МДП-структуры
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.15
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Румак
|b Н. В.
|g Николай Владимирович
|
| 701 |
|
1 |
|a Хатько
|b В. В.
|g Вячеслав Владимирович
|
| 702 |
|
1 |
|a Борисенко
|b В. Е.
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081114
|
