Проблемы микроэлектронной технологии отв. ред. Л. В. Великов

Сохранить в:
Библиографические подробности
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Наука 1994
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 00825nam0a2200253 i 4500
001 DB7DF12E-6AD6-4F8C-A43A-8483BE3F1D37
010 |a 5-02-007019-X  |d р.1350.00 
100 |a 19970925d1994 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Проблемы микроэлектронной технологии  |f отв. ред. Л. В. Великов 
210 |a Москва  |c Наука  |d 1994 
215 |a 78с.  |c ил. 
225 2 |a Труды ФТИАН  |v Т. 7 
320 |a Библиогр. в конце ст. 
606 |a Микроэлектронная аппаратура  |x Производство 
686 |a 32.844.1  |2 rubbk 
686 |a 47  |2 rugasnti 
702 0 |a Великов  |b Л. В.  |4 340 
801 0 |b НБУР  |a RU  |c 19970925