Описание: Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике

Сохранить в:

Библиографические подробности
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Воронеж Издательство Воронежского университета 1989
Рубрика:	Физико-химические свойства Сборники Материалы
Ключевые слова:	Полупроводники Физико-химические свойства Сборники Микроэлектроника Материалы Физико-химические свойства

5-7455-0135-9