|
|
|
|
| LEADER |
01472nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
E08F5812-A79A-4859-8B4A-ABEB32AD82FB |
| 010 |
|
|
|a 5-7455-0135-9
|d р.1.80
|
| 100 |
|
|
|a 20080730d1989 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике
|e сб. науч. тр.
|f Воронеж. гос. ун-т им. Ленин. комсомола
|g [редкол.: Я. А. Угай (отв. ред.) и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Воронеж
|c Издательство Воронежского университета
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 196с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводники
|x Физико-химические свойства
|x Сборники
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектроника
|x Материалы
|x Физико-химические свойства
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1
|a 31.232
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 45
|2 rugasnti
|
| 702 |
|
1 |
|a Угай
|b Я. А.
|g Яков Александрович
|4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Воронежский государственный университет им. Ленинского комсомола
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Воронежский государственный университет им. Ленинского комсомола
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20080730
|
