Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники Ч. Е. Джоветт

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Джоветт Ч. Е.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
English
Год издания: Москва Металлургия 1980
Рубрика:
Ключевые слова: