Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники Ч. Е. Джоветт
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian English |
| Год издания: |
Москва Металлургия 1980
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |
| LEADER | 01122nam0a2200277 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | EAF98AC2-71A3-46DA-B7ED-F2F05AEACDE6 | ||
| 010 | |d р.1.20 | ||
| 100 | |a 20160629d1980 k y0rusy02 ca | ||
| 101 | 1 | |a rus |c eng | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a z 000#y | ||
| 200 | 1 | |a Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники |f Ч. Е. Джоветт |g перевод с англ. М. И. Кондакова ; под ред. Е. Б. Соколова | |
| 210 | |a Москва |c Металлургия |d 1980 | ||
| 215 | |a 112с. |c ил. |d 21 см | ||
| 320 | |a Библиогр.: с. 106-111 | ||
| 454 | 0 | |1 7001 |a Jowett C. E. |1 2001 |a The engineering of microelectronic thin and thick films | |
| 606 | |a Микроэлектронные схемы |x Материалы |x Производство | ||
| 686 | |a 32 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 47 |2 rugasnti | ||
| 700 | 1 | |a Джоветт |b Ч. Е. |g Чарльз Е. | |
| 702 | 1 | |a Кондаков |b М. И. |4 730 | |
| 702 | 1 | |a Соколов |b Е. Б. |4 340 | |
| 801 | 0 | |b ГПНТБ России |a RU |c 20160629 | |