|
|
|
|
| LEADER |
01184nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
F1B138EE-D932-425F-9095-C4730A51771D |
| 010 |
|
|
|d р.1.00
|
| 100 |
|
|
|a 20121017d1986 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Оборудование полупроводникового производства
|e [учеб. пособие для приборостроит. специальностей вузов]
|f И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Машиностроение
|d 1986
|
| 215 |
|
|
|a 262, [1]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 256-258 (47 назв.). - Предм. указ.: с. 259-263
|
| 606 |
|
|
|a Электронная промышленность, предприятия
|x Оборудование
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Блинов
|b И. Г.
|g Иван Григорьевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Кожитов
|b Л. В.
|g Лев Васильевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20121017
|
