Описание: Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Чехович Е. К.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Минск Наука и техника 1989
Рубрика:	Размеры Технический контроль автоматический
Ключевые слова:	Микроэлектронная аппаратура Размеры Технический контроль автоматический Контрольно-измерительные инструменты и приборы оптоэлектронные

5-343-00087-8