|
|
|
|
| LEADER |
01192nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
F9BEF3A1-D2BF-48B6-B333-597B606A35DB |
| 010 |
|
|
|a 5-343-00087-8
|d р.1.70
|
| 100 |
|
|
|a 20081114d1989 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники
|f Е. К. Чехович
|g АН БССР, Ин-т электрон.
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 212, [1]с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 200-211 (267 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронная аппаратура
|x Размеры
|x Технический контроль автоматический
|
| 606 |
|
|
|a Контрольно-измерительные инструменты и приборы оптоэлектронные
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1-06
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Чехович
|b Е. К.
|g Евгений Казимирович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081114
|
