Получение наноразмерных мультислоев методами магнетронного и лазерного распыления и исследование их кинетических свойств
В данной работе описываются автоматизированная сверхвысоковакуумная установка импульсного напыления и установка магнетронного напыления металлических мультислоёв и синтезированные металлические многослойные наноструктуры Fе/Сг, FeNi/(Сr, Аg), Со/(Сu, Аg), приводятся экспериментальные результаты поле...
Сохранить в:
Авторы: | , , , |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Детектив-информ
2001
|
Online-ссылка: | http://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/23289 |
Ключевые слова: |