Получение наноразмерных мультислоев методами магнетронного и лазерного распыления и исследование их кинетических свойств
В данной работе описываются автоматизированная сверхвысоковакуумная установка импульсного напыления и установка магнетронного напыления металлических мультислоёв и синтезированные металлические многослойные наноструктуры Fе/Сг, FeNi/(Сr, Аg), Со/(Сu, Аg), приводятся экспериментальные результаты поле...
Сохранить в:
Авторы: | Аверьянов, Виктор Евгеньевич, Алалыкин, С. С., Ветошкин, В. М., Крылов, П. Н. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Детектив-информ
2001
|
Online-ссылка: | http://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/23289 |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Получение наноразмерных мультислоев методами магнетронного и лазерного распыления и исследование их кинетических свойств
Год издания: (2001) -
Введение в эллипсометрию наноразмерных пленок
Автор: Алалыкин А. С.
Год издания: (2011) -
Методы исследования наноразмерных материалов
Автор: Крылов
Год издания: (2010) -
Исследование атмосферного аэрозоля методами лазерного зондирования
Год издания: (1980) -
Развитие метода катодного распыления
Автор: Гаштольд В. Н.
Год издания: (1970)