Жидкофазная эпитаксия кремния [Л. В. Кожитов, В. В. Липатов, А. С. Тимошин, М. П. Волков]

Сохранить в:
Библиографические подробности
Другие авторы: Кожитов Л. В., Липатов В. В., Тимошин А. С., Волков М. П.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Металлургия 1989
Рубрика:
Ключевые слова: