Жидкофазная эпитаксия кремния [Л. В. Кожитов, В. В. Липатов, А. С. Тимошин, М. П. Волков]
Сохранить в:
Другие авторы: | Кожитов Л. В., Липатов В. В., Тимошин А. С., Волков М. П. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Металлургия 1989
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры
Год издания: (1989) -
Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
Автор: Гиваргизов Е. И.
Год издания: (1988) -
Технология полупроводникового кремния
Год издания: (1992) -
Кинетика кристаллизации и перекристаллизации полупроводниковых пленок
Автор: Александров Л. Н.
Год издания: (1985) -
Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок
Год издания: (1988)