|
|
|
|
| LEADER |
01132nam0a2200301 i 4500 |
| 001 |
04722E3A-2F9C-4A95-B5B0-11EE04BA47BF |
| 010 |
|
|
|a 5-229-00341-3
|d р.2.70
|
| 100 |
|
|
|a 20100429d1989 |||y0rusy0103 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Жидкофазная эпитаксия кремния
|f [Л. В. Кожитов, В. В. Липатов, А. С. Тимошин, М. П. Волков]
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 200, [1] с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 300 |
|
|
|a Авт. указаны на обороте тит. л.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 195-201 (194 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводниковые пленки
|x Получение
|
| 606 |
|
|
|a Кремний
|x Кристаллы
|x Рост
|
| 686 |
|
|
|a 35.25
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 61
|2 rugasnti
|
| 701 |
|
1 |
|a Кожитов
|b Л. В.
|g Лев Васильевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Липатов
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Тимошин
|b А. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Волков
|b М. П.
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20100429
|
