|
|
|
|
LEADER |
00900nam0a2200253 i 4500 |
001 |
1034BBEC-E04D-4DCA-91C7-ECD7EE6F4745 |
010 |
|
|
|d р.1.10
|
100 |
|
|
|a 20160328d1967 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
|
|a rus
|
102 |
|
|
|a RU
|
105 |
|
|
|a a z 000#y
|
200 |
1 |
|
|a Вакуумное нанесение тонких пленок
|f Б. С. Данилин
|g под общ. ред. Р. А. Нилендера
|
210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1967
|
215 |
|
|
|a 312с.
|c ил.
|d 21 см
|
320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 304-311 (166 назв.)
|
606 |
|
|
|a Пленки тонкие
|x Получение
|x Применение вакуума
|
686 |
|
|
|a 22
|2 rubbk
|
686 |
|
|
|a 29
|2 rugasnti
|
700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
702 |
|
1 |
|a Нилендер
|b Р. А.
|4 340
|
801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20160328
|