Вакуумное нанесение тонких пленок Б. С. Данилин
Сохранить в:
Автор: | Данилин Б. С. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Энергия 1967
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Год издания: (1975) -
Технология тонких пленок
Автор: Ветошкин В. М.
Год издания: (2013) -
Получение тонкопленочных элементов микросхем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1977) -
Химия и технология неорганических пленок
Автор: Борисенко А. И.
Год издания: (1973) -
Вакуумная техника в производстве интегральных схем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1972)