Схожие документы

• Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
  Год издания: (1975)
• Технология тонких пленок
  Автор: Ветошкин В. М.
  Год издания: (2013)
• Получение тонкопленочных элементов микросхем
  Автор: Данилин Б. С.
  Год издания: (1977)
• Химия и технология неорганических пленок
  Автор: Борисенко А. И.
  Год издания: (1973)
• Вакуумная техника в производстве интегральных схем
  Автор: Данилин Б. С.
  Год издания: (1972)