Получение наноразмерных мультислоев методами магнетронного и лазерного распыления и исследование их кинетических свойств В. Е. Аверьянов [и др.]
Сохранить в:
| Другие авторы: | , , , |
|---|---|
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Ижевск 2001
|
| Предметная рубрика: | |
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |