Получение наноразмерных мультислоев методами магнетронного и лазерного распыления и исследование их кинетических свойств В. Е. Аверьянов [и др.]

Сохранить в:
Библиографические подробности
Другие авторы: Аверьянов В. Е., Алалыкин С. С., Ветошкин В. М., Крылов П. Н.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ижевск 2001
Предметная рубрика:
Рубрика:
Ключевые слова: