|
|
|
|
| LEADER |
01070nam0a2200301 i 4500 |
| 001 |
1A7D391E-1C22-469A-8C3E-5634A989DE4D |
| 010 |
|
|
|a 5-7855-0192-9
|d р.3.00
|
| 100 |
|
|
|a 20110822d1990 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|d eng
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии
|f Ф. Ф. Комаров [и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Университетское
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a 318, [1]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 300 |
|
|
|a Рез.: англ.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 293-318 (697 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Кремний
|x Дефекты
|
| 606 |
|
|
|a Кремний
|x Легирование ионное
|
| 686 |
|
|
|a 22.371.23
|a 24.124
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 31
|a 29
|2 rugasnti
|
| 701 |
|
1 |
|a Комаров
|b Ф. Ф.
|g Фадей Фадеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Новиков
|b А. П.
|
| 701 |
|
1 |
|a Соловьев
|b В. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Ширяев
|b С. Ю.
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20110822
|
