Комментарии: Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии

Сохранить в:

Библиографические подробности
Другие авторы:	Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Минск Университетское 1990
Рубрика:	Дефекты Легирование ионное
Ключевые слова:	Кремний Дефекты Кремний Легирование ионное

Ваш комментарий будет первым!