Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии Ф. Ф. Комаров [и др.]

Сохранить в:
Библиографические подробности
Другие авторы: Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Минск Университетское 1990
Рубрика:
Ключевые слова:

Схожие документы