|
|
|
|
LEADER |
00882nam0a2200253 i 4500 |
001 |
2B2CF297-C633-4264-B9F3-73024B585871 |
010 |
|
|
|d р.0.50
|
100 |
|
|
|a 20121023d1982 |||y0rusy02 ca
|
101 |
0 |
|
|a rus
|
102 |
|
|
|a RU
|
105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
200 |
1 |
|
|a Фото-, электронно- и рентгенорезисты
|f Ю. С. Боков
|
210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
215 |
|
|
|a 136с.
|c ил.
|d 21 см
|
225 |
2 |
|
|a Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
|
606 |
|
|
|a Фотолитография
|
606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы
|x Производство
|
686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
700 |
|
1 |
|a Боков
|b Ю. С.
|g Юрий Сергеевич
|
801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20121023
|