Фото-, электронно- и рентгенорезисты Ю. С. Боков
Сохранить в:
Автор: | Боков Ю. С. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Радио и связь 1982
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Электронолитография
Автор: Васичев Б. Н.
Год издания: (1982) -
Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем
Автор: Глазков И. М.
Год издания: (1981) -
Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
Автор: Гранкин И. М.
Год издания: (1983) -
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1984) -
Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники
Год издания: (1988)