Описание: Получение тонкопленочных элементов микросхем

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Данилин Б. С.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Энергия 1977
Рубрика:	Производство Получение Применение вакуума
Ключевые слова:	Микросхемы пленочные Производство Пленки тонкие Получение Применение вакуума

Недоступно описание.