Получение тонкопленочных элементов микросхем Б. С. Данилин
Сохранить в:
Автор: | Данилин Б. С. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Энергия 1977
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Вакуумное нанесение тонких пленок
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1967) -
Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Год издания: (1975) -
Технология микросхем
Автор: Иванов-Есипович Н. К.
Год издания: (1972) -
Технология гибриднопленочных микросхем
Автор: Гимпельсон В. Г.
Год издания: (1971) -
Вакуумная техника в производстве интегральных схем
Автор: Данилин Б. С.
Год издания: (1972)