|
|
|
|
| LEADER |
01028nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
3558F711-DAFF-439C-B3F7-384E15676068 |
| 010 |
|
|
|d р.0.42
|
| 100 |
|
|
|a 20160328d1977 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Получение тонкопленочных элементов микросхем
|f Б. С. Данилин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1977
|
| 215 |
|
|
|a 136с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
|v вып. 10
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 128-134 (108 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микросхемы пленочные
|x Производство
|
| 606 |
|
|
|a Пленки тонкие
|x Получение
|x Применение вакуума
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20160328
|
