Газофазная микрометаллургия полупроводников В. Ф. Дорфман

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Дорфман В. Ф.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Металлургия 1974
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 00836nam0a2200241 i 4500
001 6757EACB-F386-42EB-872D-6607213E81C5
010 |d р.1.06 
100 |a 20161011d1974 k y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 000#y 
200 1 |a Газофазная микрометаллургия полупроводников  |f В. Ф. Дорфман 
210 |a Москва  |c Металлургия  |d 1974 
215 |a 190с.  |c ил.  |d 20 см 
320 |a Библиография: с. 179-189 (300 названий) 
606 |a Полупроводниковые пленки  |x Получение 
686 |a 34  |2 rubbk 
686 |a 53  |2 rugasnti 
700 1 |a Дорфман  |b В. Ф.  |g Вениамин Фриделевич 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20161011