Комментарии: Газофазная микрометаллургия полупроводников

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Дорфман В. Ф.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Металлургия 1974
Рубрика:	Получение
Ключевые слова:	Полупроводниковые пленки Получение

Ваш комментарий будет первым!