Газофазная микрометаллургия полупроводников В. Ф. Дорфман
Сохранить в:
Автор: | Дорфман В. Ф. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Металлургия 1974
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
Автор: Гиваргизов Е. И.
Год издания: (1988) -
Переходные области эпитаксиальных полупроводниковых пленок
Автор: Александров Л. Н.
Год издания: (1978) -
Кристаллизация тонких пленок
Год издания: (1970) -
Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры
Год издания: (1989) -
Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
Автор: Колешко В. М.
Год издания: (1978)