|
|
|
|
| LEADER |
01256nam0a2200289 i 4500 |
| 001 |
6C9B047D-6485-4C2D-80DD-F9A6F59987DA |
| 010 |
|
|
|d р.0.45
|
| 100 |
|
|
|a 20160123d1983 m y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
|f И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк
|
| 210 |
|
|
|a Киев
|c Вища школа, Издательство при Киевском университете
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 53с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Ученые вузов - производству
|
| 320 |
|
|
|a Библиография: с. 49-52 (45 названий)
|
| 606 |
|
|
|a Фотолитография
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Гранкин
|b И. М.
|g Илья Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Коломейко
|b А. В.
|g Анатолий Викторович
|
| 701 |
|
1 |
|a Погребняк
|b В. П.
|g Виталий Петрович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20160123
|
