Высокоразрешающая неорганическая фотолитография И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Киев Вища школа, Издательство при Киевском университете 1983
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |