Описание: Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Быстров Ю. А.
Другие авторы:	Колгин Е. А., Котлецов Б. Н.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Радио и связь 1988
Рубрика:	Размеры Технический контроль
Ключевые слова:	Микроэлектронные схемы интегральные Размеры Технический контроль

5-256-00006-3