Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов
Сохранить в:
Автор: | Быстров Ю. А. |
---|---|
Другие авторы: | Колгин Е. А., Котлецов Б. Н. |
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Радио и связь 1988
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Активный контроль размеров
Год издания: (1984) -
Контроль размеров в машиностроении
Автор: Григорьев И. А.
Год издания: (1959) -
Измерения и контроль в микроэлектронике
Год издания: (1984) -
Контроль в технологии микроэлектроники
Автор: Колешко В. М.
Год издания: (1979) -
Контроль технологии гибридных интегральных схем
Автор: Готра З. Ю.
Год издания: (1981)