|
|
|
|
| LEADER |
01139nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
6FB23466-65E1-481E-BBE1-D26087F1EB2B |
| 010 |
|
|
|a 5-256-00006-3
|d р.0.65
|
| 100 |
|
|
|a 20130225d1988 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве
|f Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 165, [2]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 162-166 (105 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Размеры
|x Технический контроль
|
| 686 |
|
|
|a 31
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Быстров
|b Ю. А.
|g Юрий Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Колгин
|b Е. А.
|g Евгений Алексеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Котлецов
|b Б. Н.
|g Борис Николаевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20130225
|
