Описание: Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Зайцев Н. А.
Другие авторы:	Шурчков И. О.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Радио и связь 1993
Рубрика:	Окисление термическое Электрофизические свойства
Ключевые слова:	Кремний Окисление термическое Гетеропереходы: кремний - кремний, двуокись Электрофизические свойства

5-256-01177-2