Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si - SiO2 Н. А. Зайцев, И. О. Шурчков

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Зайцев Н. А.
Другие авторы: Шурчков И. О.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Радио и связь 1993
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01101nam0a2200265 i 4500
001 74D22C99-5ADB-4ACD-9868-C6F56A0DEB96
010 |a 5-256-01177-2  |d р.250.00 
100 |a 20070822d1993 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si - SiO2  |f Н. А. Зайцев, И. О. Шурчков 
210 |a Москва  |c Радио и связь  |d 1993 
215 |a 190, [2]с.  |c ил.  |d 22 см 
320 |a Библиогр. в конце глав. 
606 |a Кремний  |x Окисление термическое 
606 |a Гетеропереходы: кремний - кремний, двуокись  |x Электрофизические свойства 
686 |a 35.25  |a 24.74  |2 rubbk 
686 |a 61  |a 31  |2 rugasnti 
700 1 |a Зайцев  |b Н. А.  |g Николай Алексеевич 
701 1 |a Шурчков  |b И. О.  |g Игорь Олегович 
801 0 |b НБУР  |a RU  |c 20070822