Описание: Ионное травление микроструктур

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Данилин Б. С.
Другие авторы:	Киреев В. Ю.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Москва Советское радио 1979
Рубрика:	Производство
Ключевые слова:	Микроэлектронные схемы интегральные Производство

Недоступно описание.