Ионное травление микроструктур Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев
Сохранить в:
Автор: | Данилин Б. С. |
---|---|
Другие авторы: | Киреев В. Ю. |
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Советское радио 1979
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
Автор: Киреев В. Ю.
Год издания: (1983) -
Электроника СБИС. Проектирование микроструктур
Год издания: (1989) -
Ионное легирование в микроэлектронике
Автор: Грищенко А. Ф.
Год издания: (1985) -
Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры
Автор: Власов В. Е.
Год издания: (1987) -
Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств
Автор: Борисенко А. С.
Год издания: (1983)