|
|
|
|
| LEADER |
01013nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
76EC9A06-DD26-41FD-9F29-7768A0604E1E |
| 010 |
|
|
|d р.0.30
|
| 100 |
|
|
|a 20160328d1979 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионное травление микроструктур
|f Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Советское радио
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 103с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Массовая библиотека инженера. Электроника
|v 21
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 95-102 (158 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Киреев
|b В. Ю.
|g Валерий Юрьевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20160328
|
