|
|
|
|
| LEADER |
01092nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
9AEB3199-B35B-4816-A3A0-8D7F5CF51C10 |
| 010 |
|
|
|d р.0.85
|
| 100 |
|
|
|a 20150824d1981 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем
|f И. М. Глазков, Я. А. Райхман
|g ред. Э. И. Точицкий
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 144с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 142-143 (39 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Фотолитография
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Глазков
|b И. М.
|g Илья Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Райхман
|b Я. А.
|g Яков Аронович
|
| 702 |
|
1 |
|a Точицкий
|b Э. И.
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20150824
|
