Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем И. М. Глазков, Я. А. Райхман
Сохранить в:
Автор: | Глазков И. М. |
---|---|
Другие авторы: | Райхман Я. А. |
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Минск Наука и техника 1981
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Лазерная технология в производстве интегральных микросхем
Автор: Верховский Е. И.
Год издания: (1990) -
Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
Автор: Гранкин И. М.
Год издания: (1983) -
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1984) -
Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники
Год издания: (1988) -
Литография в производстве интегральных микросхем
Автор: Родионов Ю. А.
Год издания: (1998)