|
|
|
|
| LEADER |
01090nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
AE8F91FB-589E-437F-9F94-B5547CF561C9 |
| 010 |
|
|
|d р.0.30
|
| 100 |
|
|
|a 20120918d1982 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Оптические основы контактной фотолитографии
|f Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 103с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Массовая библиотека инженера. Электроника
|v вып. 33
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 98-101 (57 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Фотолитография
|
| 686 |
|
|
|a 37
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 64
|a 60.29
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Березин
|b Г. Н.
|g Геннадий Николаевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Никитин
|b А. В.
|g Аркадий Викторович
|
| 701 |
|
1 |
|a Сурис
|b Р. А.
|g Роберт Арнольдович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20120918
|
