Значок книги

Оборудование ионной имплантации В. В. Симонов, Л. А. Корнилов, А. В. Шашелев, Е. В. Шокин

Сохранить в:
Библиографические подробности
Другие авторы: Симонов В. В., Корнилов Л. А., Шашелев А. В., Шокин Е. В.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Радио и связь 1988
Рубрика:
Установки
Ключевые слова:
Ионное легирование Установки
5-256-00007-1

Схожие документы