|
|
|
|
| LEADER |
01008nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
C02F560C-33D6-439F-B290-F3AE14EDF750 |
| 010 |
|
|
|a 5-256-00007-1
|d р.0.70
|
| 100 |
|
|
|a 20081115d1988 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Оборудование ионной имплантации
|f В. В. Симонов, Л. А. Корнилов, А. В. Шашелев, Е. В. Шокин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 182, [1]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 170-181 (69 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Ионное легирование
|x Установки
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1-06
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 701 |
|
1 |
|a Симонов
|b В. В.
|g Владимир Валентинович
|
| 701 |
|
1 |
|a Корнилов
|b Л. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шашелев
|b А. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шокин
|b Е. В.
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081115
|
