Оборудование ионной имплантации В. В. Симонов, Л. А. Корнилов, А. В. Шашелев, Е. В. Шокин
Сохранить в:
Другие авторы: | Симонов В. В., Корнилов Л. А., Шашелев А. В., Шокин Е. В. |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Радио и связь 1988
|
Рубрика: | |
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия
Автор: Черняев А. В.
Год издания: (1990) -
Ионная имплантация в металлы
Автор: Комаров Ф. Ф.
Год издания: (1990) -
Ионная имплантация
Год издания: (1985) -
Импульсный отжиг полупроводниковых материалов
Год издания: (1982) -
Ионная и лазерная имплантация металлических материалов
Автор: Быковский Ю. А.
Год издания: (1991)