|
|
|
|
| LEADER |
00942nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
C349D713-8F13-4104-A679-BCD2E88AC80A |
| 010 |
|
|
|d р.0.11
|
| 100 |
|
|
|a 20130327d1982 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Электронолитография
|f Б. Н. Васичев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Знание
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 64с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Новое в жизни, науке, технике. Радиоэлектроника и связь
|v 8
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 64 (7 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Фотолитография
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Васичев
|b Б. Н.
|g Борис Никитович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20130327
|
